インコネル製ディスクホルダー

インコネル製ディスクホルダー

ポイント

インコネル（ALLOY600）を使用した精密加工部品「ディスクホルダー」です。ねじ切りM38、アリ溝加工、シール面Ra0.8を含む高度な加工技術が施され、Φ60mm×60mmの寸法精度を確保しています。
優れた耐熱性・耐腐食性を持つインコネルを用いることで、高精度・高信頼性が要求される半導体製造装置で高い信頼性を発揮します。

この製品について

部品名
ディスクホルダー
材質
インコネル　ALLOY600
寸法・精度
Φ60 × 60
用途・産業
半導体装置
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